目前已经广泛运用的清洗办法首要有湿法清洗和干法清洗。湿法清洗的局限性非常大，从对环境的影响、原材料的耗费及未来的开展考虑，干法清洗要明显优于湿法清洗。其中开展较快和优势明显的是等离子体清洗。等离子体是指电离气体，是电子、离子、原子、分子或自由基等粒子组成的集合体 。清洗时高能电子碰撞反应气体分子，使之离解或电离，运用产生的多种粒子轰击被清洗表面或与被清洗表面产生化学反应，从而有用地根除各种污染物；还能够改进材料本身的表面功用，如前进表面的润湿功用和改进膜的粘着力等，这在许多运用中都是非常重要的。经等离子清洗后器件表面是枯燥的，不需要再处理，能够前进整个工艺流水线的处理效率；能够使操作者远离有害溶剂的损伤；等离子能够深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完结清洗，因而不需要过多考虑被清洗物件的形状；还能够处理各种质料，特别合适不耐热以及不耐溶剂的质料。这些利益，都使等离子体清洗得到广泛重视。

等离子清洗分为化学清洗、物理清洗及物理化学清洗。针对不同的清洗对象可挑选O2、H2和Ar等艺气体进行短时间的表面处理。

1.1 化学反应为主的清洗

运用等离子体里的高活性自由基与材料表面的有机物等做化学反应，又称PE。选用氧气进行清洗，使非挥发性的有机物变成易挥发的形状，产生二氧化碳、一氧化碳和水。化学清洗的利益是清洁速度高、挑选性好和对清洗有机污染物比较有用， 首要缺点是生成的氧化物可能在材料表面再次形成。在引线键合工艺中，氧化物是最不希望有的， 这些缺点能够通过恰当挑选工艺参数进行防止。

1.2 物理反应为主的清洗

运用等离子体里的离子做纯物理的碰击，把材 料表面附着的原子打掉，也称为溅射腐蚀（SPE）。 选用氩气进行清洗，氩离子以足够的能量轰击器 件表面，碰击力足以去除任何尘垢。聚合物中的 大分子化学键别离成小分子而汽化，通过真空泵排 出。一同通过氩等离子清洗后，能够改动材料表面 的微观形状，使材料在分子级范围内变得更加“粗 糙”， 可大幅改进表面活性，前进表面的粘结性 能。氩等离子的利益是收拾材料表面不会留下任何 氧化物。缺点是可能产生过量腐蚀或污染物颗粒重 新积累在其他不希望的区域，但是这些缺点可通过 细调工艺参数得到操控。

1.3 物理化学反应一同存在的清洗

反应中物理反应与化学反应均起重要作用的 清洗。 如选用Ar和O2的混合气体进行在线式等离子清洗过程时，反应速率比单独运用Ar或O2都要快。氩离子被加快后，产生的动能又能前进氧离子的反应才干，因而用物理化学办法可根除污染较为严峻的材料表面。