等离子清洗机是什么  

　　等离子清洗机选用气体作为清洗介质，有效地防止了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。等离子清洗机外接一台真空泵，作业时清洗腔中的等离子体与清洗物的表面污染物产生反应并灰化，短时间的清洗就可以使有机污染物被彻底地清洗掉，一同污染物被真空泵抽走，其清洗程度到达分子级。等离子清洗器除了具有超清洗功用外，在特定条件下还可根据需求改变某些材料表面的功能，等离子体效果于材料表面，使表面分子的化学键产生重组，构成新的表面特性。对某些有特殊用途的材料，在超清洗过程中等离子清洗器的辉光放电不光加强了这些材料的粘附性、相容性和浸润性，并可消毒和杀菌。等离子清洗器广泛使用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。 

　　等离子清洗机的使用，起源于20世纪初，跟着高科技工业的快速发展，其使用越来越广，目前已在很多高科技领域中，居于关键技术的位置，等离子清洗技术对工业经济和人类文明影响最大，首推电子资讯工业，尤其是半导体业与光电工业。 等离子表面处理

　　等离子清洗机已使用于各种电子元件的制造，可以坚信，没有等离子清洗机及其清洗技术，就没有今天这么兴隆的电子、资讯和通讯工业。此外，等离子清洗机及其清洗技术也使用在光学工业、机械与航天工业、高分子工业、污染防治工业和量测工业上，并且是产品提高的关键技术，比如说光学元件的镀膜、延伸模具或加工工具寿数的抗磨耗层，复合材料的中间层、织布或隐性镜片的表面处理、微感测器的制造，超微机械的加工技术、人工关节、骨骼或心脏瓣膜的抗摩耗层等皆需等离子技术的行进，才开发结束。 

　　等离子技术是一新式的领域，该领域结合等离子物理、等离子化学和气固相界面的化学反应，此为典型的高科技工业，需跨多种领域，包含化工、材料和电机，因而将极具挑战性，也布满机遇，由于半导体和光电材料在未来得快速生长，此方面使用需求将越来越大。 

2、等离子清洗机的技术原理

2.1 什么是等离子体 

　　等离子体是物质的一种存在情况，一般物质以固态、业态、气态3种情况存在，但在一些特殊的情况下可以以第四中情况存在，如太阳表面的物质和地球大气中电离层中的物质。这类物质所处的情况称为等离子体情况，又称位物质的第四态。

　　等离子体中存在下列物质。处于高速运动情况的电子；处于激活情况的中性原子、分子、原子团（自由基）；离子化的原子、分子；分子解离反应过程中生成的紫外线；未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍坚持电中性情况。真空等离子清洗设备

3、等离子清洗原理简介

3.1、金属表面清洗 

    金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前，需求用等离子处理来得到彻底洁净和无氧化层的表面。 在这种情况下的等离子处理会产生以下效果：

3.11灰化表面有机层

－表面会遭到化学炮击

－在真空和瞬时高温情况下，污染物部分蒸腾

－污染物在高能量离子的冲击下被击碎并被真空带出

－紫外辐射破坏污染物

由于等离子处理每秒只能穿透几个纳米的厚度，所以污染层不能太厚。指纹也适用。

3.12氧化物去除

金属氧化物会与处理气体产生化学反应

这种处理要选用氢气或许氢气与氩气的混合物。有时也选用两步处理工艺。第一步先用氧气氧化表面5分钟，第二步用氢气和氩气的混合物去除氧化层。也可以一重用几种气体进行处理。

3.13焊接

一般，印刷线路板在焊接前要用化学助焊剂处理。在焊接结束后这些化学物质有必要选用等离子方法去除，否则会带来腐蚀等问题。

3.14键合

好的键合常常被电镀、粘合、焊接操作时的残留物削弱，这些残留物可以通过等离子方法有挑选地去除。一同氧化层对键合的质量也是有害的，也需求进行等离子清洁。大气等离子清洗

4、等离子刻蚀

在等离子刻蚀过程中，通过处理气体的效果，被刻蚀物会变成气相（例如在运用氟气对硅刻蚀时，下图）。处理气体和基体物质被真空泵抽出，表面连续被新鲜的处理气体掩盖。不希望被刻蚀部分要运用材料掩盖起来（例如半导体职业用铬做掩盖材料）。 

等离子方法也用于刻蚀塑料表面，通过氧气可以灰化填充混合物，一同得到分布分析情况。刻蚀方法在塑料印刷和粘合时作为预处理手法是非常重要的，如POM 、PPS和PTFE。等离子处理可以大大地添加粘合湿润面积。

5、刻蚀和灰化

PTFE刻蚀

PTFE在未做处理的情况下不能印刷或粘合。众所周知，运用活泼的碱性金属可以增强粘合才干，但是这种方法不容易把握，一同溶液是有毒的。运用等离子方法不仅仅保护环境，还能到达更好效果。      

等离子结构可以使表面最大化，一同在表面构成一个活性层，这样塑料就可以进行粘合、印刷操作。    

PTFE混合物的刻蚀

PTFE混合物的刻蚀有必要非常细心地进行，防止填充物被过度露出，然后削弱粘合力。 

处理气体可以是氧气、氢气和氩气。可以使用于PE、PTFE、TPE、POM、ABS和丙烯。

6、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清洁

塑料、玻璃、陶瓷与聚丙烯、PTFE相同是没有极性的，因而这些材料在印刷、粘合、涂覆前要进行处理。一同，玻璃和陶瓷表面的纤细金属污染也可以用等离子方法清洁。等离子处理与灼烧处理比较不会损害样品。一同还可以非常均匀地处理整个表面，不会产生有毒烟气，中空和带缝隙的样品也可以处理。    

等离子表面处理的效果可以简单地用水来验证，处理过的样品表面彻底被水湿润。长时间的等离子处理（大于15分钟），材料表面不光被活化还会被刻蚀，刻蚀表面具有最大湿润才干。常用的处理气体为：空气、氧气、氩气、氩氢混合气体、CF4等。

7、等离子涂镀

聚合     

在涂镀中两种气体一同进入反应舱，气体在等离子环境下汇聚合。这种使用比活化和清洁的要求要严厉一些。典型的使用是保护层的构成，使用于燃料容器、防刮表面、类似PTFE质料的涂镀、防水涂镀等。涂镀层非常薄，一般为几个微米，此刻表面的亲和力非常好