气体流量是部分大气等离子清洗机和真空等离子清洗机处理效果是否稳定的重要技术参数，不同类型的等离子清洗机、使用不同的工艺气体，对于气体流量控制器的选择会有所不同。我们总结了一些气体流量控制器选择的小贴士，现分享给大家。

1 大气等离子清洗机的流量控制器选择根据放电形式不同，大气等离子清洗机放电所需气体条件也是有讲究的。常见的射流型和射频型大气等离子清洗机，应该通入符合一定压力和流量要求的压缩空气（CDA），才会产生稳定的等离子体，以保证设备的正常运行。通常的流量控制方式是以调压阀和手动浮子流量计配合的方式来保证工作气压和气流的稳定。

大气等离子清洗机

建议选用带有流量控制器的专用气源来为其提供稳定的工作气体。此装置最大的优点是携带方便、气源干燥清洁、压力和流量持续稳定。

2 真空等离子清洗机的流量控制器选择

工艺气体流量的稳定性，会影响工业型真空等离子清洗机的处理效果，大多数工艺都对气体流量控制要求非常严格，所以工业型真空等离子清洗机都是选用质量流量控制器来实现对工艺气体流量的控制。在工业型真空等离子清洗机实际使用过程中，不同的工艺要求，需要选用不同流量控制范围的质量流量控制器，真空等离子清洗机常用的流量控制范围通常在0~50SCCM、0~500SCCM之间，部分大型真空等离子清洗机也会用到0~1SLM规格的质量流量控制器。等离子清洗

通入不同的工艺气体，建议选择对应气体的专用质量流量控制器，以保证输入气体的稳定和计量；不同的工艺气体，分子大小不同、化学特性不同，使用同规格的质量流量控制器会存在流量误差和安全隐患。如使用的是常规工艺气体，也可选择一种气体作为标准，只需保证流量稳定即可；但是对于H2、CF4等特殊气体，易爆易燃具有腐蚀性的气体，必须使用专用的质量流量控制器。

实验型真空等离子清洗机机，通常对流量控制要求不是非常严格，纯手动操作的设备，也会选用手动浮子流量计。

3 其他注意事项

真空等离子清洗机需保证真空反应腔体内的压力稳定，所以选择好气体流量控制器后，还需注意气管接头的挑选。通常我们会选用快拧接头或卡套接头作为气体流量控制器的气管接头，以此来满足工艺气体真空管路的密封。

真空等离子清洗机在处理一些特殊材料的时候，可能会把液态单体作为放电介质，就必须使用手动浮子流量计作为流量控制器；对于腐蚀性单体则需使用防腐型的浮子流量计；对真空环境要求比较苛刻的，建议使用高密封性的浮子流量计。

如需对液态单体进行流量监控，也可增加气液流量计，但需考虑单体的测量元素、沸点、冷凝点等因素，可视情况进行选择。真空等离子清洗机

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