乐发Ⅰx
乐发Ⅰx联系人:邹军
乐发Ⅰx手机:13823299736
乐发Ⅰx电话:86-755-23287290
传真:86-755-23287348
网址:shboquan.com
地址:深圳市宝安区松岗街道沙浦社区洋涌工业区八路2号碧桂园厂房6栋305
等离子清洗设备 BP880
主要规格
1)整机外形尺寸1133W*1024D*2019H(MM)
2)反应仓腔体尺寸672W*424D*475H(MM)
3)电源:380V(10%正负误差)工频三相五线
4)射频电源频率:低频LF,40-120K变频配合匹配器
功率:1000W(MAX)
(5)真空泵:鲍斯真空泵+罗茨泵
(6)配置气体:氢气(H2)5%,氩气(AR)95%混合,工业气体由使用厂家自行外购,在购置瓶装气体的时候,请气体供应商为钢瓶配置减压阀。
(7)整机功率<5KW
(8)PLC(SIMENZI)程序控制,触控式显示面板控制,操作方式分自动和手动可选,同时可储存50种配方清洗模式,任意调用。自动模式用于设备正常工作,手动模式用于设备调试及维护。
(9)单次清洗时间<300S(一般射频工作时间180S)
电源特性一览表
種類 功能 | LF(低頻) (40~100KHz) | RF (射頻) (13.56MHz) | MW (微波) (2.45GHz) |
電漿離子方向性 | 最佳 | 中等 | 幾乎無方向性 |
電漿密度 | ~108 | 108 ~ 109 | ~1012 |
腔體設計 | 可放大,電漿均勻度較佳 | 不可太大,因為電漿均勻度會因腔體放大而變差 | 腔體較小,內部總表面積必須與頻率匹配,設計難度高 |
基材表面溫度 | 適中 | 適中 | 較低 |
Ar Plasma效應 | 針對直插式、食人魚、2835/3030/5630等產品效果佳 | 針對直插式、食人魚等產品具一定程度效果,但其餘產品效果差 | 僅適用於Molding段製程,對wire bond前處理效果不佳 |
匹配方式 | 搭配多段式變壓器調整。有些微反射功率 | 搭配自動匹配器調整 | 導波管調整,較複雜,有些微反射功率 |
維修成本 | 功率晶體故障低,維護費用較低廉 | 故障率高,尤其是匹配器,維修費稍高 | 微波電源維修者稀少,原廠維修費用極高 |
气体特性一览表:
应用项目 | BP-860 | BP-880 | 建议使用气体 | |
Surface Treatment | 表面机能化 (清水性、molding 前处理) | ● | ● | O2/N2/Ar |
有机物去除 (blue tape/wire bond/lcm) | 直插式、食人魚式、 不放料盒清洗的產品 | ● | ● | Ar(95%)+H2(5%) |
2835/3030/5630/ 5050/2121/7020/ 4014等 | ● | Ar(95%)+H2(5%) |