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等离子清洗设备由于应用领域的不同，对等离子体的参数要求不一样，因而也就形成了低温等离子体发生技术及其物理性质的研究，描述等离子体特性的参数主要是粒子的平均自由程、德拜长度、等离子体温度和平均电子能量，等离子清洗设备对应于不同的应用，要求的等离子体参数不同，相应的等离子体发生技术也不同。
产生低温等离子体的手段很多，可用紫外辐射、X射线、电磁场、加热等方法，实验室和工业产品大都采用电磁场激发等离子体——等离子清洗设备，如直流辉光放电、射频放电、微波放电和介质阻挡放电等。
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