乐发Ⅰx
联系人：邹军
乐发Ⅰx手机：13823299736
乐发Ⅰx电话：86-755-23287290
乐发Ⅰx传真：86-755-23287348
网址：shboquan.com
乐发Ⅰx地址：深圳市宝安区松岗街道沙浦社区洋涌工业区八路2号碧桂园厂房6栋305
等离子清洗机去除金属氧化物
化学清洗:表面反应以化学反应为主的等离子体清洗，又称PE。
例：O2＋e－→ 2O※ +e－ O※＋有机物→CO2+H2O
从反应式可见，氧等离子体通过化学反应可使非挥发性有机物变成易挥发的H2O和CO2。
例：H2+e-→2H※+e- H※+非挥发性金属氧化物→金属＋H2O
从反应式可见，氢等离子体通过化学反应可以去除金属表面氧化层，清洁金属表面。
物理清洗：表面反应以物理反应为主的等离子体清洗，也叫溅射腐蚀（SPE）。
例：Ar＋e-→Ar++2e- Ar++沾污→挥发性沾污
Ar+在自偏压或外加偏压作用下被加速产生动能，然后轰击被清洗工件表面，一般用于去除氧化物、环氧树脂溢出或是微颗粒污染物，同时进行表面能活化。
