電漿控制部規格

1.

尺寸(W×D×H)

488´480´175 m m

詳細規格參附件

2.

重量

15kg

3.

需求電源

220V , 60 Hz , 3wire, 15A

地線<0.5Ω，

4.

電漿輸出功率

600W~800W~1000W

可使用功率視實際

條件而定

6.

可使用氣體

GN2, CDA

視樣品或油汙而定

7.

I/O –進氣接頭

4´6mm Connector

連接至主氣源

8.

氣體使用量

35~45L/min

視條件及樣品而定

9

進氣壓力

5±0.7kg/cm2

10

配置空間

放置在通風良好(環境溫度

小於 30 度)的地方。保留 左右及上方有 150mm 以上 散熱的空間，保留後方有 120mm 的線路空間

1.

2.

3.

電漿照射部規格

1

尺寸(W×D×H)

84mm´162mm´219

詳細規格參附件

2

重量

<4kg

3

電源部-照射部距離

2m

4

蛇管最小彎曲半徑

R120mm

如超過最小彎曲半

徑可能導致蛇管破 損

其他規格

1

有效清潔範圍

15~50mm

視條件及噴嘴而定

2

處理速度

50-300 mm/sec

視樣品而定

3

處理距離

與待清潔物距離 3~10mm

視樣品而定及噴嘴

而定

1

電漿需求電源

220   V , 50-60 Hz, 單相+

接地線 ,20A

地線<0.5Ω，

強裂建議提供電源需經過 3000W 隔離變壓器以保證電源品質不受 干擾。

2

CDA/N2

壓力：5.0±0.5kg/cm2

流量：35~45L/min

入口 PU 管管徑：4*6mm 氣體含油量：<0.003ppm 氣體含水量：露點< -15

℃

l     若露點過高可能導致電漿強

度減弱、電將不穩定、甚至 照射部擊穿。

l     輸入氣體成分不同將會影響   電漿的處理性能、輸出功 率、電漿穩定的參數範圍、 電漿顏色、溫度等。

3

排氣

一般廠務排氣，大氣排

放

排氣管接頭外徑 50mm

排氣量 1000L/min

需在電漿噴射下方及週圍設置抽

風罩

1

設備稼動率

連續操作 95%以上

2

警報

警示信號輸出

3

危險標示

高壓危險標示

4

使用環境

室溫 15~30℃，濕度：30%~70%

不可有可燃性氣體, 腐蝕性氣 體，爆炸或反應性粉塵